1、加热台的温度控制范围 |
室温~800℃ |
2、工作面板面积 |
180mm*150 mm |
3、上下模冷却方式 |
风冷 |
4、加热台温度控制精度 |
±3℃ |
5、时间设置范围 |
0-任意时间 |
6、腔体内最高真空度 |
-97至-100KPA, |
7、可键合芯片厚度 |
0~50mm |
8、升降温速率 |
可控范围为:5-20℃/分。 |
9、压力范围 |
0~2kN |
10、额定电压 |
AC220V 50HZ |
11、额定功率 |
约7KW |
12、额定最高温度 |
800℃ |
13、设备外型尺寸 |
主机器:600mm*850mm*1450mm 冷水机:440mm*440mm*870mm
|
14、重量 |
约250公斤 |
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